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宋胤乾也皱起了眉头,看向林允宁。
周志强说的是实情,这是薄膜生长的经典难题。
林允宁笑了笑。
他没有解释,而是把背包放在椅子上,径直走到墙边的衣柜前,拿出一套洁净服穿上。
“如果不介意的话,我想借用一下那台CVD设备。”
周志强愣住了:
“你要亲自做?”
“试试看。”
林允宁戴上口罩和手套,只露出一双沉静的眼睛。
他走到控制台前,熟练地打开了真空泵和气体流量计。
周志强原本想上去指导一下操作流程,怕这个理论派的师弟把昂贵的设备搞坏了。
但他刚迈出一步,就停住了。
林允宁的手指在控制面板上飞快地跳动,调整着Ar气和O2氧气的比例旋钮。
那种动作的流畅度和精准度,就像是干了十几年的老师傅一样,带着一种机械般的韵律感。
【天赋:心灵手巧LV.1发动。
】
“要防止填缝,就不能用连续生长。”
林允宁一边盯着腔体内的气压读数,一边随口解释道,“我们要用脉冲模式PulsedMode。
“先通入高浓度的前驱体气体,时间极短,只有0.5秒。
这叫‘大过饱和度成核’。
“因为尖端效应,气体分子会优先吸附在纳米线的顶端,瞬间形成晶核。
“然后立刻切断源气,通入保护气清洗,并稍微升高基底温度。”
他的手在温控旋钮上轻轻一转,精确地停在了一个刻度上。
“这时候,顶端的晶核会发生表面扩散,它们会倾向于横向生长,去寻找旁边的兄弟,手拉手连成片。
“只要控制好脉冲的频率和温度,让横向生长的速度大于纵向堆积的速度,我们就能在针尖上“织”
出一张网来。”
随着林允宁的操作,CVD腔体的观察窗里,紫色的等离子体辉光开始有节奏地闪烁。
一下,两下,三下。
如同心脏跳动。
宋胤乾站在一旁,眼神从一开始的怀疑变成了惊叹。
他是行家。
林允宁提出的这个“脉冲横向外延”
思路,在半导体工业里确实有,但那都是用来做昂贵的微机电系统MEMS的。
没人想过能用这种操作手法,来解决一个宏观的热应力问题。
这不仅是思维的降维打击,更是实验手法的降维打击。
“志强。”
宋胤乾拍了拍看傻了的学生的肩膀,“学着点。
这就叫教科书级别的工艺控制。
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