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让宋叔现在去换更高级的真空泵不现实,远水解不了近渴。
既然环境不够“纯”
,那就得想办法让材料自己去“吃”
掉这些杂质。
“如果达不到实验室标准,那我们就再加一层胶水。”
林允宁在白板上画了一个三明治结构??基底,中间层、VO2薄膜。
“钛Titanium。
林允宁写下这个元素符号,“钛是一种著名的‘吸气剂’金属。
它在高温下极易与氧气反应。
“如果在沉积氧化钒之前,先溅射一层极薄的金属钛。
这层钛会优先抢夺基底表面的残余氧气,形成一层致密的氧化钛过渡层。
“它既能吃掉’污染,又能作为完美的粘结剂,缓解热膨胀系数的不匹配。”
埃琳娜盯着白板,眼神亮了。
“聪明的想法。
钛的晶格常数和氧化钒也比较接近。”
她推了推眼镜,“但是厚度很关键。
太薄了吃不干净氧气,太厚了会引入新的热应力,导致更严重的剥落。”
“20纳米到50纳米之间。”
林允宁给出了一个大致的范围,“你说得对,不能太薄也不能太厚,具体的最佳工艺窗口,需要实验验证。
我可以帮你做一个模拟,进一步缩小范围。
“不用,这就够了。”
埃琳娜转身,一把抓起防静电服披在身上,动作利落得像是个即将上战场的战士,“剩下的交给我。
两天?不,二十四小时。
二十四小时后我给你最佳参数。
’
林允宁没有走。
他拉过一把椅子,坐在了控制台旁边:
“我在这儿陪你。
两个人看数据总比一个人快。”
埃琳娜看了他一眼,没说话,只是眨了眨那双蓝眼睛:
“随便你,别挡路就行。”
接下来的二十个小时,实验室里只有真空泵的轰鸣声和机械臂运转的咔哒声。
这是一场并未见血的厮杀。
第一轮:钛层20nm。
失败。
剥落依旧。
第二轮:钛层50nm。
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