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没有那两篇论文，这个项目也不可能真的立项，还真被造了出来。
本·罗尼听出了一丝丝骄傲的情绪，不过他只以为这是陈艺文在他面前体现他的重要性，不由得笑了笑，说道：“哦？光刻机？其实这个消息我们早就知道了。
不过也算是你有心了，我会向上面汇报的，算是给你记上一功。
放心吧，你所求都会有的。”
说完，两人再次相视一笑。
然后各自在脑海里骂了对方一句：“傻逼。”
……
西林工大数研所。
此时西林光电精密所的张志坚院士的确在乔泽办公室里汇报这个好消息。
当时依托于乔泽的论文直接开启的光刻工厂项目，历时一年，终于进行了到了试机阶段。
当时张志坚便专门来请过乔泽一次，希望他能出面一起参与试机仪式。
可惜被乔泽断然拒绝了。
这种热闹不管人家是不是真情实意的邀请，乔泽都觉得没必要去这种风头。
而且从头至尾，乔泽都不觉得他对这个项目有多大的贡献。
当时的那两篇论文本就是打算忽悠一下对面，顺便放松下大脑。
对于光电所两位院士真能把这东西做出来，说实话乔泽心底还生出了一丝钦佩的情绪。
数千个零件需要试错啊……
真做出来了！
当然，性能肯定不可能像陈艺文说的那么假，既不是第一代，性能也没那么强劲。
别说对标阿斯麦还在设计中的下一代光刻机了，甚至比现在主流的光刻机性能还要差上那么一点。
但最小NA数值孔径也做到了1.36。
根据反馈来看，只需要稍作调整，就能完成极限制程3NM的制作工艺。
虽然比阿斯麦最新款的两纳米极限工艺还要差了一点，但基本上可以说跟上了主流，跟国际顶尖水平的差距也已经缩小到可以容忍的地步。
而且真要对比的话，光刻工厂的生产效率可要远高于单台光刻机，搭配智能化的操作系统，最多能同时批量光刻十三种规格不同的芯片。
理论上可以达到每小时2737片的生产效率。
当然光刻工厂占地也远比光刻机要庞大。
总之就是各有千秋。
当然，现在依然处于试机过程中。
暂时还不会正式交付开始进行生产。
而且光刻工厂建设周期较长，但对于现在的华夏来说，这些缺点都可以被无视。
因为光刻工厂的所有零配件实现了全国产，完全不怕被卡脖子。
可想而知此时的张志坚有多兴奋，真的，此时在乔泽面前的张志坚看上去像是个兴奋过度的小孩子。
手里拿着光刻工厂加工出的第一批射频芯片，眼眶都红了。
“乔泽，我代表光电精密参与光刻工厂设计跟建设的两千六百多位工程师跟建设者感谢你，更代表华夏数十万半导体人感谢你。
你的光刻工厂设计起码帮我们节约了十年时间！
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