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第969章 5n工艺试生產(第2页)

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整条5nm验证线,从光刻机到刻蚀机,九成以上都是国產设备。

这里面除了自己的技术突破以外,全部依靠统子。

不过,两条线还是有点少。

就像现在把这条线给改了,7nm那边就会受到一定的限制。

此时在某处把妹的系统忽然打了一个喷嚏,他总感觉自己被惦记了。

“风险大吗?”

“有。”

李家辉和袁国庆两人几乎同时说道。

“验证线和量產线不一样,小批量测出来的良率,放大到量產往往会打折扣。

我心里预期是40%左右,能摸到45%就算超预期。”

说完之后,李家辉又单独匯报导:

“只要能稳定在40%以上,就能小批量供货。

边產边优化,慢慢往上爬。”

沈飞嗯了一声:“按你们的节奏来,不用急。

但有一点,明年星云六的上市节点不能动,晶片供应必须跟上。”

“放心。”

李家辉听到这话瞬间保证道,“就算良率爬得慢,q4之前摸到60%没问题,绝对耽误不了新机备货。”

几人隔著玻璃看了一会儿。

首批晶圆顺利进入光刻工序,机械臂动作精准,没有出现任何异常。

“走吧,流片要等上一段时间,总不能一直站在这儿等。”

李家辉笑著拍了拍玻璃,“先去会议室,我跟您说说后续的工艺叠代方案。

等晶圆出来,我们第一时间匯报给您。”

沈飞点头。

一行退出车间,一路聊到办公楼。

从5nm良率提升路径,聊到下一代3nm工艺的预研,再到车载晶片、机器人晶片的產能分配,足足聊了一下午。

…………

三天后结果出来,李家辉立刻派人前往晶圆厂。

毕竟首批二十片晶圆,昨晚刚刚走完所有工序,正式下线。

他的团队已经在测试车间待命,探针台、测试仪全部调试完毕,就等他来开箱。

“李院士,都准备好了。”

团队负责人上前匯报,语气里带著紧张。

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