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第四百九十六章 此生无憾(第3页)

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采用了浸入式光源技术以后,364纳米的光束波长被约束到了312纳米!

比之英特尔使用的350纳米技术,提升了近40纳米!

在白云天的亲自指导监督下,有李莲、华新等人直接

领导,光刻机的制造进度快得惊人,透镜、工作台子系统、光源等最大的技术难点,一一被轻松攻克。

经过两个月的技术攻关——其实就是逐步熟悉制造工艺,一台双工位,最大晶元刻蚀尺寸为200的光刻机就顺利建造完成,顺利得让所有参与制造的技术人员感觉如在做梦。

“这就做好了?”

当最后一块挡板合上,螺丝拧紧,对光刻机通电系统测试通过,白云天宣布光刻机研发成功,其他人还是不敢相信这个事实,不由窃窃私语。

连下料到解决一个个技术问题,制作出子系统,再到总装,两个月就做出一台这时代最先进的光刻机…

这可能吗?

就算国内光刻机厂家,有现成图纸、熟练工,做一台出来也不止这点时间吧。

“行不行咱们试试不就知道了。”

白云天看着众人表情,笑了笑没有解释。

有他带着一种接受了高端制造技术知识注入的新人亲自参与,两个月制造一台光刻机算什么。

要不是没有专用机床设备,哪要得了两个月!

像专门制造光刻机的asl,一年就要卖几十上百台光刻机出去。

两月一台?

这么慢的生产速度,早就破产倒闭了!

光刻掩膜板早就做好了,这是白云天、李莲亲自动手做的,达到了钢铁城当前技术极限。

掩膜并非只有一个,而是一套。

光刻是个工序多达上百道的漫长加工过程,一道工序,可能就只有极微小的改变。

逐步刻蚀掉需要加工部位的光刻胶,然后通过沉积、离子注入等方式,在硅晶元基片上生成所需的元器件、连线等不同部件。

因此整个过程是支离破碎的,每一次光刻都只针对一道工序,经由数百道工序之后,才会制造出一个包含了所有晶体管、电阻、电容等各种元器件的裸晶片。

由于工序漫长,每一道工序的掩膜必须严格对准,误差不能超过几个纳米。

否则就会出现错位,导致沉积、注入不到正确的位置,制造失败。

可想而知,掩膜版的精度要求是多么高。

从制成的掩膜版上,众人只能看到星星点点的点、和纵横交错的细线,根本不知道最终出来的电路是怎样的。

工序如此之长,当然不可能马上就得出结果。

研究人员虽然很好奇,但是他们还有别的研究工作要做,当白云天宣布光刻机研发成功,研制团队解散以后,他们也只能回到本来的岗位,继续完成上面交代下来的研究工作。

一个月后,白云天、李莲等人穿着一身连套防护服,眼看着一张亮晶晶的晶圆片完成最后一道工序,小心翼翼摆放到了他们面前。

这还只是裸晶片,还需要经过切割、封装,才是大众平常所见到的芯片。

得知众所期待的第一次试制完成,闻讯的研究人员们都放下手头工作,聚了过来。

等级较高的研究人员穿上连套防护服,进了实验室,其他的人则站在玻璃墙外,好奇地看着白云天小心托在手中的晶圆片。

“白总,这是什么集成电路?”

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