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我要让全世界知道,越是打压,我们越要加速。”
挂断电话后,他驱车前往东莞松山湖基地??那里正秘密进行国产双工件台的闭环测试。
这是EUV光刻机最后也是最难的一环:必须让两个重达数吨的载物台以纳米级精度同步运动,速度达到每秒1米以上,误差控制在±1.5nm以内。
项目负责人王振国已在门口等候,脸色凝重:“唐总,第三次联调失败了。
Y轴动态响应出现周期性抖动,导致对准偏差累积到3.7nm,超出了容忍极限。”
“带我去现场。”
唐静荷脱下外套,换上防尘服。
测试大厅内,巨大的银白色工件台如同机械巨兽般静静伫立。
屏幕上滚动着成千上万行数据流,红色警报不断闪烁。
“问题出在哪?”
他问。
“初步判断是伺服电机与精密导轨之间的谐振耦合。”
一位年轻工程师回答,“我们用了中科院特制的磁悬浮轴承,但在高频往复运动中产生了微弱振动,通过结构传导放大。”
唐静荷蹲下身,伸手触摸导轨表面,指尖传来细微的麻感。
“你们有没有试过改变驱动频率的相位序列?避开共振点不如主动压制它。
就像打拳,对手发力时你顺势卸力,反而能掌控节奏。”
王振国一愣,随即拍案而起:“对!
我们可以引入AI预测模型,实时调整电流相位,形成主动阻尼效应!”
七十二小时后,第四次联调启动。
当第一个完整曝光场成功转移至硅片上,检测结果显示:**套刻误差1.3nm**。
成功了。
那一刻,整个团队抱在一起,哭得像孩子。
而唐静荷只是默默摘下徽章,轻轻放在控制台上??那是父亲生前留给他唯一的一枚厂徽,上面刻着“精益求精”
。
“爸,”
他在心里说,“您教我的‘慢工出细活’,今天我们用它造出了最快的机器。”
七月流火,鸿蒙生态再传捷报:全球搭载鸿蒙系统的智能终端突破八千万台,其中海外用户占比首次超过三成。
更令人振奋的是,埃及教育部宣布将采购一百万台鸿蒙教育平板,用于偏远地区数字课堂建设,成为首个国家级别采用中国操作系统的非洲国家。
与此同时,“光影一号”
ISP芯片被德国徕卡相机选中,用于其新款便携式影像设备。
评测机构给出惊人评价:“动态范围媲美全画幅传感器,功耗却仅为传统方案的三分之一。”
然而,风暴也紧随而来。
七月中旬,美国商务部联合荷兰、日本签署《三方半导体管制协议》,明确将中国列为“高风险技术扩散区”
,禁止向中方出口任何可用于先进制程的光刻配套设备、特种气体及精密光学元件。
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