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第727章 光刻机进度(第3页)

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“自己搞精密自动化,光刻机也是精密的……”

他开始不给自己找后路,直接就跟妻子说了自己接下来要將精力都放在研究上。

楚婕自然是没有不同意,並表示,要是提前回家,记得给她打个电话,她好给做饭燉汤。

“郭院士,以后我就常驻这里啦!

叨扰您咯!”

蒋新松来到郭汝京的办公室,笑著说道。

“哈哈哈,新松呀,来,坐。”

郭汝京也是十分高兴的说道,“你来了好呀,咱们这,还有大量的子项目,需要你协调呢!”

显然,郭汝京对蒋新松的常驻很是欢迎。

“郭院士,咱们研究自己的光刻机,进展到哪些层面了?”

蒋新鬆开口询问道。

郭汝京起身,打开他办公室连著的会议室的门,说道:“来,你来看。”

隨后,他打开了会议室里的大屏幕,上面的南永erp工作流。

上面的思维导图密密麻麻的看得人眼花繚乱。

“新松,你来看,这是光刻机核心系统的思维导图,”

郭汝京开始介绍说道。

“这是光源系统,对於极紫外(euv)光刻机,需研发高功率雷射器,以每秒数万次的频率轰击液態锡滴,產生13.5nm波长的极紫外光。

並且需要对光源发出的光束进行整形、均匀化、滤波和能量控制,確保光束质量。”

“光是这一项,就涉及高功率co?雷射器、锡滴发生器、收集镜、复杂的光学透镜组等模块的製造。”

“在这个子系统,我们尚且有三十多项待攻克的任务。”

郭汝京一路点开,越往下任务越细致,自然任务也就越多。

蒋新松看的眼花繚乱,不过作为工程设计,他也是看多了,只是很多子任务的方向不太熟悉,大致还是能理解。

他指著那些绿色的部分,询问道,“这些,是已经攻克的课题?”

“对的。”

郭汝京微微点头说道,“因为前些日子採购部拿回来的资料,里面有不少相关的技术。”

“另外,咱们初苗集团的科技中心那边,也有不少工程师提供了技术的支持,在光源发电这一块,咱们剩下要解决的难题並是很多。”

“但后面的部分……”

郭汝京打开后面几个子模块,面露难色。

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