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別看就差0.7nm，这背后涉及的是分子量分布和光酸扩散长度的平衡问题。
我带著团队试了三个月，调整了三十多种聚合物配比，始终突破不了。”
程新彤有些失落，她没想到自己带领的团队，还真就迟迟没法解决这个问题。
自己好歹从校园出来后，也从事这方面的研究二十年。
结果科技就是这样，突破不了，就是没法突破。
稍作停顿后，她继续往下分析。
“第三，敏感度。”
程新彤的声音带上了一丝疲惫，“13nm製程用的光源波长极短，能量密度很高。
我们的光刻胶要么敏感度不够，曝光时间太长影响產能；
要么敏感度上去了，但又会出现严重的產酸扩散，导致图案模糊。
这个平衡点，我找了国內三个顶尖团队会诊，都没给出可行方案。”
“我也请教过导师……导师一时间也没有什么建议。”
程新彤苦涩的说道，“只说需要多尝试，用时间来试错。”
程新彤面露无奈，时间，她现在最缺的就是时间！
自从跟光电集团合併后，强强联合，公司的业务方面需要她担心的並不多，因此研究资金也丰裕了不少。
可是如果再迟迟没法突破。
跟不上樱花国的前沿光刻胶步伐，那恐怕將会错过这个千载难逢的机会。
特別是紫晶工厂作为自研光刻机的机构，一旦对南彤光电失望，选择支持其他的光刻胶，那缺乏后续持续资金的投研，恐怕將会被淘汰。
旁边一位戴眼镜的男研究员补充道：“程总，还有缺陷率的问题。
上周测试的批次，显影后缺陷密度还在30个平方厘米以上，紫晶那边要求低於5个。”
程新彤点了点头，看向欧皇妲：“小师妹你看，解析度、lwr、敏感度、缺陷率，每一个都是死结。
现在紫晶那边的採购部已经放话了，如果三个月內拿不出达標的小批量样品，他们就要考虑在跟其他的厂家合作，支持其他厂家的光刻胶研究。
甚至……他们要自己展开研究。
师姐我也是没办法了。”
程新彤无奈的说著。
会议室里安静了几秒。
秦嵐在一边如听天书，但她心里觉得：“这不会是紫晶工厂为了刺激新彤故意放出狠话吧？目前国內最顶级的就是新彤，再支持其他厂家，那不是要耗费更多时间么。”
欧皇妲放下奶茶杯，走到大屏幕前，目光扫过那些密密麻麻的参数表格和分子结构式。
“师姐，你们的聚合物骨架用的是甲基丙烯酸酯类吧？”
欧皇妲忽然开口。
程新彤跟著她的目光，立即回答道：“对，pmma衍生物，目前国內最成熟的体系。”
“光酸產生剂呢？三芳基硫鎓盐？”
“是。”
“淬灭剂用的三级胺？”
“没错。”
程新彤眼睛亮了一下，“小师妹你怎么一眼就看出来了？”
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